檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Defect".ekeyword (精準) and year="93"
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工業自動化的時代裡,在高效率與高品質的市場需求下,如何能使產品又快又好的生產出來是許多工業技術改良的目的,因此生產流程中部分依靠人力完成的工作逐漸的被機械設備所取代。 為了確保品質,複雜的生產線中會…
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在半導體製造上需要對製程機台進行即時資料之趨勢監控外,需要更多能精確判斷製程與機台狀態的新製程偵測技術與方法,特別是在先進的12吋晶圓廠上。在半導體製程技術持續的微縮下,製程的飄移或缺陷通常不是單一…